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スパッタリング用DCパルス電源
SAT-56S/SAT-56DSAT-56シリーズはアーク遮断回路を内蔵したスパッタリング用電源です。直流出力はもちろんのことパルス出力としても使用できます。シングル、デュアルタイプがあり用途にあった使い方が可能です。SiC素子を用いた弊社独自の回路により、アーク蓄積エネルギーを200μJ/kW以下にすることを実現しております。
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プログラマブルDC電源(CVCC)KDC series
1U(44㎜)サイズで最大1500Wの高出力直流安定化電源です。シンプルな設計で使いやすさを追求しています。マスタースレーブや通信機能はオプションで選択でき、幅広い分野や用途でお使いいただける直流安定化電源です。
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- ※サイト内にて記載しているデータ類は参考値です。製品の性能を保証するものではありません。