製品情報 スパッタリング用DCパルス電源

KDP-D series

スパッタリング用DCパルス電源

SAT-56S/SAT-56D

特徴

  • DC出力及びパルス出力が可能
    出力のパルス化により、異常放電を軽減
  • SiCデバイスを搭載
    SiC素子を使用することにより、理想的な矩形波パルス出力を実現
    また、デバイスのモジュール化により、小型・高効率化を実現
  • 基板やカソードのダメージの低減
    異常放電時の高速遮断により、アーク放電に起因するダメージを軽減

出力周波数範囲

最低周波数が低い 40kHz以下にてOFF時間を長く設定することが可能

出力範囲

逆バイアス印過電圧及び印加時間が可変 プラズマ着火時の電流が制御可能

内部ユニット間同期

内部ユニット間の同期・非同期の選択が可能 同期且つ位相のズレを制御することも可能

内部ユニット間の同期・非同期の選択が可能 同期且つ位相のズレを制御することも可能

*詳細は弊社営業までお問合せ下さい。

注意事項

  • ※このサイトに記載された製品を安全にお使いいただくために、ご使用の前に必ず「取扱説明書」をお読みください。
  • ※当社製品の不具合による保証範囲は、当該納入品の復元を限度とさせていただき、当社製品の故障に起因するお客様での機会損失、逸失利益、当社の予見の有無を問わず特別の事情から生じた損害、2次損害、事故補償、およびその他の業務に関する保障については、当社は責任を負いかねます。

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仕様

ラインナップ SAT-56S SAT-56D
入力仕様 入力電圧 AC180V〜AC480V AC180V〜AC480V
相数・周波数 3相3線 50/60Hz 3相3線 50/60Hz
入力電圧 40Amax 20Amax
入力容量 12kW 6kW
出力仕様 出力波形 DC及び矩形波パルスの選択が可能 DC及び矩形波パルスの選択が可能
接地 プラス端子接地によるマイナス出力 プラス端子接地によるマイナス出力
定格電力 5kWmax×2 5kWmax
定格電圧 -650Vmax -650Vmax
定格電流 15.4Amax 15.4Amax
制御方式 定電力・定電流・定電圧制御 定電力・定電流・定電圧制御
出力精度 定電力・定電流・定電圧の各モードで、実測値が設定値の±1%以内
若しくは、フルスケールに対して0.2%のいずれか大きい方
定電力・定電流・定電圧の各モードで、実測値が設定値の±1%以内
若しくは、フルスケールに対して0.2%のいずれか大きい方
出力周波数 1kHz〜100kHz 1kHz〜100kHz
パルスOFF時間 最大OFF時間は、周波数により異なる
①1kHz〜30kHz時:0.4μs〜16.7μs
②30kHz〜100kHz時:0.4μs〜50%duty相当の時間
0.1μs刻みで設定可能
最大OFF時間は、周波数により異なる
①1kHz〜30kHz時:0.4μs〜16.7μs
②30kHz〜100kHz時:0.4μs〜50%duty相当の時間
0.1μs刻みで設定可能
その他出力仕様 逆Bias電圧 0V〜65Vの範囲で設定した、プラス電圧を印加 0V〜65Vの範囲で設定した、プラス電圧を印加
逆Bias印加時間 パルスOFF時間範囲内にて可変 パルスOFF時間範囲内にて可変
イグニッション電圧 -1500V固定 -1500V固定
アーク蓄積エネルギー 200μJ/kW以下 200μJ/kW以下
アークカウンター マイクロアークとハードアークを個別カウントし、通信にて出力する マイクロアークとハードアークを個別カウントし、通信にて出力する
外部接続 入力コネクタ MSコネクタ MSコネクタ
出力コネクタ及びケーブル HNコネクタ RG-393同軸ケーブル(10m以下) HNコネクタ RG-393同軸ケーブル(10m以下)
デジタル RS-422、RS-485、RS-232C RS-422、RS-485、RS-232C
アナログ 運転信号、設定値入力、出力モニタ等 運転信号、設定値入力、出力モニタ等
冷却方式 強制空冷 強制空冷
外形寸法 W482.6mm×H133mm×D550mm(突起物は除く) W482.6mm×H133mm×D550mm(突起物は除く)
質量 35kg 25kg

パネル説明

パネル面説明
  1. ①7セグ表示
  2. ②設定ボリューム
  3. ③各種LEDパネル
  4. ④各種設定スイッチ
  5. ⑤「Output(A/B)」スイッチ
  6. ⑥アナログインターフェイスコネクタ
  7. ⑦パラレル運転用コネクタ
  8. ⑧デジタルインターフェイスコネクタ
  9. ⑨インターロックコネクタ
  10. ⑩AC入力コネクタ
  11. ⑪入力側サーキットプロテクタ
  12. ⑫出力コネクタ

注意事項

  • ※このサイトに記載された製品を安全にお使いいただくために、ご使用の前に必ず「取扱説明書」をお読みください。
  • ※当社製品の不具合による保証範囲は、当該納入品の復元を限度とさせていただき、当社製品の故障に起因するお客様での機会損失、逸失利益、当社の予見の有無を問わず特別の事情から生じた損害、2次損害、事故補償、およびその他の業務に関する保障については、当社は責任を負いかねます。

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外形図

  • 外形図

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